工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)由以下部分組成:水冷卻器、泵、熱交換器、水箱、過濾器和工藝設(shè)備。

冷卻器:為冷卻水系統(tǒng)提供冷源。

水泵:給水加壓，保證水在冷卻系統(tǒng)中循環(huán)。

熱交換器:該設(shè)備用于冷凍水系統(tǒng)和冷卻水系統(tǒng)之間的熱交換，從而將該系統(tǒng)負(fù)荷端產(chǎn)生的熱量傳遞給冷凍水系統(tǒng)。換熱器有很多種，包括管殼式、板式、板翅式和熱管式等。相比較而言，板式換熱器具有占地面積小，傳熱面積大的優(yōu)點?？紤]到半導(dǎo)體車間空間面積的成本特點，選擇占地面積小的設(shè)備，以節(jié)省土地面積和工程成本。

水箱:在開式系統(tǒng)中，水箱主要用來補充水。閉式系統(tǒng)水箱需要膨脹水箱，膨脹水箱有三個作用:一是包容和補償系統(tǒng)中水的膨脹和收縮；二是給閉式循環(huán)水系統(tǒng)提供穩(wěn)定的壓力，可以穩(wěn)定系統(tǒng)的壓力；三、用作系統(tǒng)補給泵的指示，通常是膨脹水箱發(fā)出信號啟動或關(guān)閉系統(tǒng)補給泵。

過濾器:過濾掉水中的固體顆粒和雜質(zhì)，凈化水源。

在工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)中，有兩個相對獨立的系統(tǒng):冷凍水和冷卻水。冷凍水由冷水機組提供，冷凍水與冷卻水進行熱交換，降低設(shè)備溫度。通過水泵將水從生產(chǎn)設(shè)備抽至熱交換器，通過控制冷凍水量來保證工藝?yán)鋮s水的溫度，然后通過過濾器送至生產(chǎn)線設(shè)備，再返回水泵。構(gòu)成工藝?yán)鋮s水的反復(fù)循環(huán)。冷卻水直接返回到冷卻器。