冷卻水系統(tǒng)由以下部分組成:冷水機(jī)組、泵、熱交換器、水箱、過(guò)濾器和工藝設(shè)備。

冷卻器:為冷卻水系統(tǒng)提供冷源。

水泵:給水加壓，保證水在冷卻系統(tǒng)中循環(huán)。

熱交換器:該設(shè)備用于冷凍水系統(tǒng)和冷卻水系統(tǒng)之間的熱交換，從而將該系統(tǒng)負(fù)荷端產(chǎn)生的熱量傳遞給冷凍水系統(tǒng)。換熱器有很多種，包括管殼式、板式、板翅式和熱管式等。

相比較而言，板式換熱器具有占地面積小，傳熱面積大的優(yōu)點(diǎn)?？紤]到半導(dǎo)體車間空間面積的成本特點(diǎn)，選擇占地面積小的設(shè)備，以節(jié)省土地面積和工程成本。

水箱:在開(kāi)式系統(tǒng)中，水箱主要用來(lái)補(bǔ)充水。閉式系統(tǒng)水箱需要選擇膨脹水箱，它有三個(gè)作用。

，安全殼和補(bǔ)償系統(tǒng)中水的膨脹和收縮；

二是給閉式循環(huán)水系統(tǒng)提供穩(wěn)定的壓力，可以穩(wěn)定系統(tǒng)的壓力；三、用作系統(tǒng)補(bǔ)給泵的指示，通常是膨脹水箱發(fā)出信號(hào)啟動(dòng)或關(guān)閉系統(tǒng)補(bǔ)給泵。

過(guò)濾器:過(guò)濾掉水中的固體顆粒和雜質(zhì)，凈化水源。

在工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)中，有兩個(gè)相對(duì)獨(dú)立的系統(tǒng):冷凍水和冷卻水。冷凍水由冷水機(jī)組提供，冷凍水與冷卻水進(jìn)行熱交換，降低設(shè)備溫度。

通過(guò)水泵將水從生產(chǎn)設(shè)備抽至熱交換器，通過(guò)控制冷凍水量來(lái)保證工藝?yán)鋮s水的溫度，然后通過(guò)過(guò)濾器送至生產(chǎn)線設(shè)備，再返回水泵。構(gòu)成工藝?yán)鋮s水的反復(fù)循環(huán)。冷卻水直接返回到冷卻器。